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光電所獲取大角度衍射光學(xué)元件批量化制備新方法
中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室微光學(xué)組在大角度衍射光學(xué)元件批量化制備方法研究中取得新進(jìn)展:提出了一種基于納米壓印技術(shù)的大角度衍射光學(xué)元件批量化低成本制備新方法。由于納米壓印模板可以多次重復(fù)使用,平均成本降低,能夠?qū)崿F(xiàn)從微米到納米跨尺度兼容的衍射光學(xué)元件的低成本、批量化制備。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的Acta Photonica Sinica。
衍射光學(xué)元件
衍射光學(xué)元件由于體積小、設(shè)計(jì)靈活、衍射效率高等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于光學(xué)傳感、光通訊、光計(jì)算、醫(yī)學(xué)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和消費(fèi)娛樂等領(lǐng)域。目前在一些前沿性的研究領(lǐng)域,如激光雷達(dá)中的廣角三維地形地貌探測、三維測量等,迫切需要具有大角度(大于50°)的衍射光學(xué)元件?,F(xiàn)有的加工衍射光學(xué)元件的技術(shù)有很多種,但成本高、加工周期長,難以實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。因此,研究衍射光學(xué)元件的低成本、批量化制備方法具有重要意義。
該研究將納米壓印技術(shù)應(yīng)用于衍射元件的加工當(dāng)中,壓印母板在無損傷的前提下可以無限次重復(fù)使用,即一塊壓印模板可以在短時(shí)間內(nèi)壓印制備出多個(gè)衍射元件,大大降低了制備成本,提高了生產(chǎn)效率。基于納米壓印技術(shù)的高精度、高分辨率、低成本、高產(chǎn)量等優(yōu)點(diǎn),以及改進(jìn)的脫模防粘、對(duì)準(zhǔn)壓印技術(shù),實(shí)現(xiàn)了大角度、高深寬比衍射光學(xué)元件高保真、低成本、批量化制作的目的。
該工作得到了國家自然科學(xué)基金的支持。